探针式轮廓仪（台阶仪）

生产厂家：KLA instruments

设备型号：AlphaStep D-300

购置日期：2023-11-15

大仪平台入网日期：2023-12-25

大仪平台仪器编号：2023032658

设备位置：北洋园校区49楼122室

设备负责人：杨帆

联系方式：fanyangphys@tju.edu.cn

主要功能及技术指标

用于扫描台阶高度，扫描长度30 mm。配光学杠杆传感头，垂直范围0-1000 um，力范围：0.5-15 mg。配侧视光学相机，视场 3760 x 3120 um，5MP彩色数码相机，4倍数码变焦，有梯形校正功能。