原子力显微镜

生产厂家：本原纳米仪器有限公司

设备型号：CSPM5500

购置日期：2022-03-09

大仪平台入网日期：2023-04-04

大仪平台仪器编号：2022000635

设备位置：北洋园校区49楼129室

设备负责人：杨帆

联系方式：fanyangphys@tju.edu.cn

主要功能及技术指标

CSPM5500扫描探针显微镜包括力检测部分、位置检测部分、反馈系统三个部分。仪器采用探针固定、样品在探针下做往返运动的扫描方式，可用于扫描获取多种样品的形貌和台阶高度。

• 标准模块：包括接触、轻敲、相移成像等多种工作模式

• 分辨率：横向 0.2 nm，垂直 0.03 nm

• 可支持最大样品尺寸为：45 mm × 45 mm × 30 mm

• 轻敲探针型号：Tap300Al

• 轻敲探针参数：共振频率 300 kHz，弹性系数 40 N/m，针尖曲率半径 < 10 nm，背面镀铝反射层

• 接触探针型号：ContAl

• 接触探针参数：共振频率 13 kHz，弹性系数 0.2 N/m，针尖曲率半径 < 10 nm，背面镀铝反射层