扫描电子显微镜

生产厂家：国仪量子技术有限公司

设备型号：SEM 3100

购置日期：2022-06-08

大仪平台入网日期：2023-04-18

大仪平台仪器编号：2023024240

设备位置：北洋园校区49楼127室

设备负责人：任赫辰

联系方式：ren@tju.edu.cn

主要功能及技术指标

• 电子枪：预对中型发叉式钨灯丝电子枪

• 分辨率： ≤ 3.0 nm @ 30 kV（二次电子像），≤ 4.0 nm @ 30 kV（背散射电子像）

• 加速电压范围：1 kV～30 kV ，底片放大倍数：1x～300000x（1～16x光学放大），屏幕放大倍数：1x～1000000x

• 真空系统：涡轮分子泵与机械泵组成的机组，全自动真空控制。真空优于 9×10^-4 Pa，抽真空时间：≤ 5 min，放气时间：≤ 2 min

• 样品台：五轴样品台行程：X = 115 mm；Y = 115 mm；Z = 65 mm；R：360°连续；T： -10°～ +70°

• 最大载入样品：直径 370 mm，高 73 mm（五轴），最大样品重量：≤ 3kg

• 扫描速度：预设四种扫描模式，扫描速度可自由配置，同时也支持感兴趣区域扫描模式

• 测量功能：支持多种测量标记工具，如长度、角度、直径等

• 图像注释与数据区：提供标准数据区，可在图片上显示各种电镜参数

• 图像保存：最小 768 x 512，最大为 ≥ 6144 x 4096

• 图像存储格式：TIFF、JPG、PNG、BMP格式